本发明适用于压膜设备领域,提供了一种真空压膜机,包括进板模块、真空压膜模块和出板模块,进板模块包括进板运输结构,第一载膜涨紧结构和清洁单元;真空压膜模块设有可相互开合的真空腔体,真空腔体连接有加压组件;出板模块包括出板运输结构、第二载膜涨紧结构和冷却结构;进板模块和出板模块在运输基板的同时还能带动载膜的运输,通过第一载膜涨紧结构进行放卷动作,第二载膜涨紧结构进行收卷动作,带动载膜穿过真空压膜模块与基板进行压合,通过载膜运输结构来对载膜进行压紧,避免载膜在压合时发生位置变化,以保证基板两面的贴膜作业,且进板模块上的清洁单元能很好的在载膜与基板压合前对载膜进行清洁,以保证载膜的整洁度。
📄 2023106129744
📂 H05K3_00
👤 有为半导体技术(广东)有限公司
📅 2023-05-26
本发明公开一种预贴机,包括:底座模块以及均设置在所述底座模块上的外罩模块、进板输送模块、预贴模块和出板输送模块;所述进板输送模块包括:对应设置的进板输送结构、拍板对中结构、留铜结构和压板进料结构。所述预贴模块包括:上下对称设置的两组膜材安装架结构、上下对称设置的两组膜材输送结构、上下对称设置的两组涨紧结构、上下对称的两组贴膜盘结构、上下对称的两组旋转割刀结构、导膜结构。所述出板输送模块包括:出板传动结构、夹板输送结构、板料输送结构。本发明的有益效果在于:可以提升预贴机的工作效率和稳定性,提升贴附效果。
📄 2023109088017
📂 B29C63_02
👤 有为半导体技术(广东)有限公司
📅 2023-07-21
本实用新型适用于压膜设备领域,提供了一种能实现四点压膜的真空压膜结构,包括上动板和下基础板,上动板设有上真空框,下基础板设有下真空框,上真空框和下真空框组合成真空腔体,上真空框内设有上加热组件,下真空框内设有下加热组件,上动板设有四个加压油缸,每一加压油缸的输出轴穿过上动板与上加热组件连接,下基础板的下方设有驱动油缸,每一驱动油缸的输出轴与上动板连接;由驱动气缸驱动上动板使得上真空框个下真空框的合拢,再由加压气缸驱动上加热组件以实现与下加热组件的紧密压紧,使得膜材和基板有效压合,两套施压装置可以避免压力分散,保证各分运动的施加压力有效和准确,可以更好的保证区域受力均匀和压膜效果。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利
📄 2023213549365
📂 H05K3_00
👤 有为半导体技术(广东)有限公司
📅 2023-05-30
本实用新型适用于贴膜设备领域,提供了一种载膜涨紧结构,包括由一驱动组件驱动转动的气涨轴,驱动组件与气涨轴的一端实现固定连接,气涨轴内可填充有气体并可根据所填充的气体量来改变其轴径,气涨轴上可安装有载膜卷,气涨轴的另一端可拆卸设有支撑板,支撑板的一端设有连接轴承,气涨轴的另一端穿过连接轴承并与连接轴承的内圈紧密贴合,气涨轴另一端伸出连接轴承的部分设有弹性挡圈;利用气涨轴填充气体的方式来适应不同的载膜卷,通过支撑板和弹性挡圈的配合能在气涨轴上更换不同的载膜卷,更换方式简单,省时省力,有效提高加工效率。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利
📄 2023212718440
📂 B65H16_02
👤 有为半导体技术(广东)有限公司
📅 2023-05-23
本实用新型适用于贴膜设备领域,提供了一种真空机主体装置,包括上动板和下基础板,上动板上设有上真空气口,上动板上设有上真空框,上动板在上真空框的框内位置设有上吸气孔,下基础板上设有下真空气口,下基础板上设有下真空框,下基础板在下真空框的框内位置设有下吸气孔,下基础板上设有可驱动上动板移动的油缸,油缸的输出轴穿过下基础板与上动板连接;油缸自上而下沿着上动板的自重力方向驱动上动板往下基础板的方向移动,使得驱动上动板移动的推力更小,起到了一定的省力作用,有效简化驱动结构;若干油缸同时作用上动板,使下基础板受到上动板的压力分布更加均匀,保证上真空框和下真空框合拢时的严丝合缝,进而保证内部真空度。
📄 2023212718239
📂 B65B31_02
👤 有为半导体技术(广东)有限公司
📅 2023-05-23
本实用新型适用于贴膜设备领域,提供了一种设有气液增压系统的真空压膜结构,包括上动板和下基础板,上动板上设有上真空框,下基础板上设有下真空框和驱动上真空框移动的第一油缸,上真空框内设有上加热组件,下真空框内设有下加热组件,上动板上设有驱动上加热板移动的第二油缸,第一油缸和第二油缸均同时连接有气液增压系统;气液增压系统包括增压组件,增压组件分别连接有油箱组件和气路组件,油箱组件和气路组件连接,油箱组件分别与第一油缸和第二油缸连接;第一油缸,和第二油缸均由独立设置的油箱组件和气路组件同时驱动,使得驱动动作更敏捷快速,油和气分开,气路不易被油污染,保证作业环境的环保卫生,方便布置和安装。
📄 2023211561606
📂 B29C63_02
👤 有为半导体技术(广东)有限公司
📅 2023-05-12
本实用新型公开一种多轴同步输送结构,包括:上膜材输送装置、下膜材输送装置、夹板输送装置、输送带输送装置和离合器装置,所述离合器装置包括若干电磁离合器,用于所述上膜材输送装置、下膜材输送装置、夹板输送装置、输送带输送装置的动力的接合与分离。本实用新型的有益效果在于:1、在机械传动实现多轴同步运动,增加了机械传动的灵活性,并简化了动作逻辑和程序,增加了整个机构的可靠性和稳定性。2、多样化的运动排列组合方式,可适用于不同机构上的任意一种同步运动,并且可用于单面膜材敷贴和双面膜材敷贴,有很好的适应性和兼容性。
📄 2023206382659
📂 B65H16_10
👤 有为半导体技术(广东)有限公司
📅 2023-03-27
本实用新型适用于压膜设备领域,提供了一种真空压膜机,包括进板模块、真空压膜模块和出板模块,进板模块包括进板运输结构,第一载膜涨紧结构和清洁单元;真空压膜模块设有可相互开合的真空腔体,真空腔体连接有加压组件;出板模块包括出板运输结构、第二载膜涨紧结构和冷却结构;进板模块和出板模块在运输基板的同时还能带动载膜的运输,通过第一载膜涨紧结构进行放卷动作,第二载膜涨紧结构进行收卷动作,带动载膜穿过真空压膜模块与基板进行压合,通过载膜运输结构来对载膜进行压紧,避免载膜在压合时发生位置变化,以保证基板两面的贴膜作业,且进板模块上的清洁单元能很好的在载膜与基板压合前对载膜进行清洁,以保证载膜的整洁度。
📄 202321323148X
📂 H05K3_00
👤 有为半导体技术(广东)有限公司
📅 2023-05-26