实用新型已授权

一种能实现四点压膜的真空压膜结构

📄 申请号：CN202321354936.5 📄 发布日：2026/05/28

著录项目信息

申请日

2023-05-30

公开号

CN219893528U

公开日

2023-10-24

申请人

有为半导体技术(广东)有限公司

法律状态

已下证

专利类型

实用新型

主分类号

H05K3_00

IPC 分类号

H05K3_00

技术画像

所属领域

真空压膜设备真空压膜设备压膜机构真空吸附技术

应用场景

覆膜工艺, 光伏组件封装, 薄膜贴合, 印刷包装, 电子元件封装

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摘要

本实用新型适用于压膜设备领域，提供了一种能实现四点压膜的真空压膜结构，包括上动板和下基础板，上动板设有上真空框，下基础板设有下真空框，上真空框和下真空框组合成真空腔体，上真空框内设有上加热组件，下真空框内设有下加热组件，上动板设有四个加压油缸，每一加压油缸的输出轴穿过上动板与上加热组件连接，下基础板的下方设有驱动油缸，每一驱动油缸的输出轴与上动板连接；由驱动气缸驱动上动板使得上真空框个下真空框的合拢，再由加压气缸驱动上加热组件以实现与下加热组件的紧密压紧，使得膜材和基板有效压合，两套施压装置可以避免压力分散，保证各分运动的施加压力有效和准确，可以更好的保证区域受力均匀和压膜效果。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

一种载膜涨紧结构

当前第 / 件

一种断桥铝窗注胶用边角快速压紧固定装置

同领域国内专利 · IPC: (H05K3_00)

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