基于类球形氧化铈磨粒的抛光液及其制备方法、应用

摘     要：本发明涉及表面处理技术领域，具体为一种基于类球形氧化铈磨粒的抛光液及其制备方法、应用。本发明提供的抛光液的制备方法，首先采用Ce3+为原料，同时加入聚乙烯吡咯烷酮制备得到形貌，再以乙醇为溶剂，采用溶剂热法制备出类球形形貌、大小可控、粒度分布均匀的氧化铈磨粒，克服了氧化铈不均匀团聚的技术难题，成功制得了立方萤石结构的CeO2，微观形貌呈类球形、粒径100～200nm、粒径分布均匀；然后基于本发明的特定类球形氧化铈磨粒，通过特定浓度、特定种类的表面活性剂的选择(SDBS或PEG‑2000)，结合0.05mol/L的KMnO4，控制抛光液PH值为2时制得的抛光液，最终实现了抛后SiC晶片的材料去除率不低于600nm/h，同时晶片表面粗糙度不高于0.23nm，取得了预料不到的技术效果。

著 录 项： 

• 1． 买家选定所需专利，确认国家手续办理方，下单，确认交易合同；
  2． 卖家确认专利可交易；
  3． 买家支付交易款项到平台；
  4． 买卖双方签订《专利转让委托书》、《转让协议》、《解除代理委托书》各一式两份并提交给办理国家手续方；
  5． 办理国家手续方提交办理官方手续，国家知识产权局1个月左右下发《著录项目变更手续合格通知书》；
  6． 买家确认收到《专利证书》、《著录项目变更手续合格通知书》；
  7． 平台把交易款项支付给卖家，至此专利转让合同完成。
  

• 交易方	企业	个人
  买家	营业执照副本复印件（需盖公章）	身份证复印件（签字）
  	专利转让委托书（需盖公章）一式两份	专利转让委托书（需签字）一式两份
  	专利转让协议（需盖公章）一式两份	专利转让协议（需签字）一式两份
  卖家	营业执照副本复印件（需盖公章）	身份证复印件（需申请人签字）
  	解除代理委托书（需盖公章）一式两份（如专利通过代理机构申请）	解除代理委托书（需签字）一式两份（如专利通过代理机构申请）
  	专利转让协议（需盖公章）一式两份	专利转让协议（需签字）一式两份
  	专利请求书或手续合格通知书、授权通知书复印件	专利请求书或手续合格通知书、专利授权通知书复印件
  	专利证原件（若授权下证）	专利证原件（若授权下证）

• 日期

  法律信息

  备注