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一种近球形La3+掺杂Ce1-xLaxO2纳米抛光粉及其制备方法

📄 申请号：CN202110671684.8 📄 发布日：2026/07/23

著录项目信息

申请日

2021-06-17

申请人

陕西科技大学

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

C09G1_02

IPC 分类号

C09G1_02

技术画像

所属领域

纳米材料纳米材料稀土功能材料抛光材料

应用场景

半导体制造, 光学元件抛光, 精密加工, 化学机械抛光

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摘要

一种近球形La3+掺杂Ce1‑xLaxO2纳米抛光粉及其制备方法，将Ce(NO3)3·6H2O、镧盐和熔盐混合后在坩埚中研磨均匀得混合物；将混合物倒入无水乙醇中磁力搅拌均匀，然后倒入坩埚中在干燥箱中干燥得混合盐；将干燥后的混合盐连同坩埚一起放置在马弗炉中焙烧后自然冷却；用去离子水洗涤，除去杂质离子得到白色沉淀；将白色沉淀产物倒入离心管中，在离心机中用去离子水进行离心洗涤，置入干燥箱干燥后研磨，得到近球形La3+掺杂Ce1‑xLaxO2纳米抛光粉。本发明具有选用原料廉价、制备工艺简单、生产周期短的特点。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

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