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摘 要:本发明公开了一种使用一步化学气象沉积法合成无铅全无机钙钛矿薄膜的方法,所述方法步骤如下:将溴化铯和溴化锡粉末按照相同摩尔比分别放置在石英舟中,将装有粉末的石英舟放置在双温区管式加热炉的上游高温区;控制温度,在氩气气氛中将粉末升华为汽态,并通过高纯载气氩气在低温区的硅片衬底上沉积;完成沉积后在低温区进行加热,获得质量的无铅全无机钙钛矿薄膜。本发明制备的无铅全无机钙钛矿薄膜具有晶体质量高、无杂质相和较大尺寸,同时具有工艺简单,可重复性好,尤其适用于批量制备基于钙钛矿薄膜的半导体器件。
著 录 项:
专利/申请号: | CN201910864885.2 | 专利名称: | 一种一步化学气相沉积无铅全无机钙钛矿薄膜的制备方法 |
申请日: | 2019-09-09 | 申请/专利权人 | 陕西科技大学 |
专利类型: | 发明 | 地址: | 陕西省西安市未央区大学园区陕西科技大学 |
专利状态: | 已下证 查询审查信息 | 分类号: | H01L21/02搜分类 化学化工 塑料 气 钙 港口 膜的制备方法搜索 |
公开/公告日: | 转让价格: | 面议 | |
公开/公告号: | 交易状态: | 等待洽谈 搜索相似专利 |
交易方 | 企业 | 个人 |
买家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(签字) |
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日期 | 法律信息 | 备注 |