一种NiO紫外光电探测器及其制备方法

摘     要：本发明公开了一种NiO紫外光电探测器及其制备方法，所述NiO紫外光电探测器包括由下至上排列的衬底、NiO薄膜、二氧化硅薄膜和金属电极，所述二氧化硅薄膜上通过光刻腐蚀出若干个凹槽，每个凹槽内竖直插设有NiO柱，所述二氧化硅薄膜的上表面涂覆有碳纳米管形成碳纳米网格，所述NiO柱的周围和碳纳米网格的上表面涂覆AlN纳米晶，并在AlN纳米晶的表面包覆金属量子点，所述金属电极溅射在AlN纳米晶的表面。本发明制备的NiO紫外光电探测器具有尺寸可控、分布均匀性好、综合性能优良的优点；采用无掩膜光刻技术，可以大幅度节约成本，相对于传统技术节省2‑10％的成本。

著 录 项： 

• 1． 买家选定所需专利，确认国家手续办理方，下单，确认交易合同；
  2． 卖家确认专利可交易；
  3． 买家支付交易款项到平台；
  4． 买卖双方签订《专利转让委托书》、《转让协议》、《解除代理委托书》各一式两份并提交给办理国家手续方；
  5． 办理国家手续方提交办理官方手续，国家知识产权局1个月左右下发《著录项目变更手续合格通知书》；
  6． 买家确认收到《专利证书》、《著录项目变更手续合格通知书》；
  7． 平台把交易款项支付给卖家，至此专利转让合同完成。
  

• 交易方	企业	个人
  买家	营业执照副本复印件（需盖公章）	身份证复印件（签字）
  	专利转让委托书（需盖公章）一式两份	专利转让委托书（需签字）一式两份
  	专利转让协议（需盖公章）一式两份	专利转让协议（需签字）一式两份
  卖家	营业执照副本复印件（需盖公章）	身份证复印件（需申请人签字）
  	解除代理委托书（需盖公章）一式两份（如专利通过代理机构申请）	解除代理委托书（需签字）一式两份（如专利通过代理机构申请）
  	专利转让协议（需盖公章）一式两份	专利转让协议（需签字）一式两份
  	专利请求书或手续合格通知书、授权通知书复印件	专利请求书或手续合格通知书、专利授权通知书复印件
  	专利证原件（若授权下证）	专利证原件（若授权下证）

• 日期	法律信息	备注
  2023/09/26	授权
  2021/04/16	实质审查的生效	IPC(主分类): H01L 31/0352 专利申请号: 202011468770.0 申请日: 2020.12.15
  2021/03/30	公开