发明专利 已授权

一种包括二自由度执行机构的自由度多方位微动台

📄 申请号:CN201911334429.3 📄 发布日:2026/08/25

著录项目信息

申请日
2019-12-23
申请人
安徽机电职业技术学院
法律状态
已下证
专利类型
发明
主分类号
IPC 分类号

技术画像

所属领域

应用场景

半导体制造, 光刻设备, 精密加工, 光学对准, 精密测量

摘要

本发明公开了一种包括二自由度执行机构的自由度多方位微动台,包括底座、液压杆和微动台面,所述底座的内部从外到内依次开设有导向腔和定位腔,所述第一音圈电机定子的内部活动安装有第一音圈电机输出轴,且第一音圈电机定子的内壁上固定安装有第一环形气浮垫,所述定位杆的下端活动安装于导向腔的内部,所述导杆之间固定有第二音圈电机定子,且第二音圈电机定子的中部固定连接有第二音圈电机输出轴的一端,所述底座设置于微动台面的顶部。该包括二自由度执行机构的自由度多方位微动台,减少自由度使用调节时的摩擦导致动能消耗,提高定位精度和使用减震效果,并且方便微动台的使用多方位定位安装。

常见问题

这项专利是否已经下证?

是的,该专利已下证,法律状态为“已下证”,公开号:

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权利要求书 (12项) 说明书 附图

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图1
图2
图3

法律状态时间线

20251205
⏳ 专利实施许可合同备案的生效 :
20220415
✅ 授权
20200828
?? 实质审查的生效 :
20200428
📄 公开
议价
不含过户费

📋 交易方式: 委托待转让 📌 交易状态: 在售 👁️ 浏览次数:11 ❤️ 收藏人数:93 📋 项目申报: 未申报

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