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摘 要:本发明提供了一种图案化硅结构的制备方法及硅基光伏电池。该制备方法包括:提供一非抛光的硅基底和一具有预设图案的灰度图;按照预设图案设定待显示在硅基底上的像素点阵列,每个像素点由待刻蚀在硅基底上的绒面结构所形成的待刻蚀区和未刻蚀绒面结构的未刻蚀区按照预定比例组成;根据硅基底和绒面结构的光学参数确定像素点的尺寸以及确定将待刻蚀区和未刻蚀区中哪个区域作为像素点的中心区域;获得灰度图的灰度值与像素点的中心区域边长之间的关系;将灰度图的灰度矩阵按照转换关系转换为待显示在硅基底上的像素点阵列组成的结构图形;利用结构图形制作获得光刻掩模板;利用光刻掩模板按照图案化工艺在硅基底上刻蚀出与灰度图对应的图案。
著 录 项:
专利/申请号: | CN202010427147.4 | 专利名称: | 一种图案化硅结构的制备方法及硅基光伏电池 |
申请日: | 2020-05-19 | 申请/专利权人 | 苏州大学 |
专利类型: | 发明 | 地址: | 江苏省苏州市工业园区仁爱路199号苏州大学独墅湖校区909楼3303 |
专利状态: | 已下证 查询审查信息 | 分类号: | H01L31/0236搜分类 太阳能 电池 硅 港口搜索 |
公开/公告日: | 2022-03-01 | 转让价格: | 面议 |
公开/公告号: | CN111697088B | 交易状态: | 等待洽谈 搜索相似专利 |
交易方 | 企业 | 个人 |
买家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(签字) |
专利转让委托书(需盖公章)一式两份 | 专利转让委托书(需签字)一式两份 | |
专利转让协议(需盖公章)一式两份 | 专利转让协议(需签字)一式两份 | |
卖家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(需申请人签字) |
解除代理委托书(需盖公章)一式两份(如专利通过代理机构申请) | 解除代理委托书(需签字)一式两份(如专利通过代理机构申请) | |
专利转让协议(需盖公章)一式两份 | 专利转让协议(需签字)一式两份 | |
专利请求书或手续合格通知书、授权通知书复印件 | 专利请求书或手续合格通知书、专利授权通知书复印件 | |
专利证原件(若授权下证) | 专利证原件(若授权下证) |
日期 | 法律信息 | 备注 |
2022/03/01 | 授权 | |
2020/10/20 | 实质审查的生效 | IPC(主分类): H01L 31/0236 专利申请号: 202010427147.4 申请日: 2020.05.19 |
2020/09/22 | 公开 |