纳米间隙原位活化的复合阳极键合方法

摘     要：本发明公开了一种纳米间隙原位活化的复合阳极键合方法，包括放电活化工序及阳极键合工序，所述复合阳极键合方法的具体步骤包括：设置复合阳极键合参数；将硅片和玻璃片相互贴合叠放在固定工作台上，在被键合界面形成纳米间隙，同时施加所设定的键合压力，并加热至所设定的键合温度；施加介质阻挡放电电压参数、介质阻挡放电时间参数、介质阻挡放电频率参数、键合电压参数与键合时间参数，以得到键合层。本发明先利用阳极键合初始界面的纳米间隙作为介质阻挡放电间隙完成活化工序，再通过切换电源直接完成阳极键合工序，实现了原位活化的阳极键合，与此同时，调整了对应的介质阻挡放电参数，显著降低了键合温度，实现了低温键合。

著 录 项： 

• 1． 买家选定所需专利，确认国家手续办理方，下单，确认交易合同；
  2． 卖家确认专利可交易；
  3． 买家支付交易款项到平台；
  4． 买卖双方签订《专利转让委托书》、《转让协议》、《解除代理委托书》各一式两份并提交给办理国家手续方；
  5． 办理国家手续方提交办理官方手续，国家知识产权局1个月左右下发《著录项目变更手续合格通知书》；
  6． 买家确认收到《专利证书》、《著录项目变更手续合格通知书》；
  7． 平台把交易款项支付给卖家，至此专利转让合同完成。
  

• 交易方	企业	个人
  买家	营业执照副本复印件（需盖公章）	身份证复印件（签字）
  	专利转让委托书（需盖公章）一式两份	专利转让委托书（需签字）一式两份
  	专利转让协议（需盖公章）一式两份	专利转让协议（需签字）一式两份
  卖家	营业执照副本复印件（需盖公章）	身份证复印件（需申请人签字）
  	解除代理委托书（需盖公章）一式两份（如专利通过代理机构申请）	解除代理委托书（需签字）一式两份（如专利通过代理机构申请）
  	专利转让协议（需盖公章）一式两份	专利转让协议（需签字）一式两份
  	专利请求书或手续合格通知书、授权通知书复印件	专利请求书或手续合格通知书、专利授权通知书复印件
  	专利证原件（若授权下证）	专利证原件（若授权下证）

• 日期

  法律信息

  备注