发明专利已授权

嵌套式扫描探针显微镜

📄 申请号：CN202110737437.3 📄 发布日：2026/08/10

著录项目信息

申请日

2021-06-30

公开号

CN113406360A

公开日

2021-09-17

申请人

南京信息工程大学

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

G01Q60_00

IPC 分类号

G01Q60_00 , H02N2_00 , H02N2_10 ,

技术画像

所属领域

显微镜显微镜

应用场景

表面形貌测量, 纳米材料表征, 半导体晶圆检测, 生物样品成像, 薄膜分析

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摘要

本发明公开了一种嵌套式扫描探针显微镜，包括壳体，还包括沿一轴向依次同轴套设的步进马达、绝缘管、绝缘配重框以及扫描头；步进马达安装于壳体内壁，绝缘管周向设置于步进马达内壁上；绝缘配重框的外壁与绝缘管之间设有弹性件，绝缘配重框通过弹性件受力与绝缘管内壁滑动配合；扫描头安装于绝缘配重框上且具有一测试端，测试端包括用于扫描样品的探针；步进马达用以驱动绝缘配重框及扫描头沿轴向步进。该嵌套式扫描探针显微镜能够实现结构紧凑、体积小、空间利用率高的效果，且具有抗干扰、高度对称性特点，能够减少温度变化引起的热漂移，提高扫描成像的质量。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

20220308

✅ 授权

20211008

?? 实质审查的生效：

20210917

📄 公开

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