实用新型已授权

一种键合线参数测量设备

📄 申请号：CN202121389310.9 📄 发布日：2025/12/23

著录项目信息

申请日

2021-06-22

公开号

CN215984390U

公开日

2022-03-08

申请人

南京信息工程大学

法律状态

已下证

专利类型

实用新型

主分类号

G01B11_02

IPC 分类号

G01B11_02

技术画像

所属领域

半导体封装半导体封装键合工艺检测精密测量仪器

应用场景

半导体封装, 芯片制造, 引线键合工艺, 电子器件质量检测

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摘要

本实用新型公开了一种键合线参数测量设备，包括图像采集模块、支架、载物台、电控升降装置、控制模块；所述图像采集模块包括相机、远心镜头、物镜，相机用于采集键合线图像，远心镜头、物镜用于放大被测量的键合线以便于相机采集到微纳米级别的键合线图像；所述载物台在电控升降装置的驱动下在竖直方向上上下移动从而实现键合线在竖直方向上的位移；所述控制模块分别与电控升降装置、图像采集模块相连，用于控制电机驱动电控升降装置以及控制图像采集模块采集键合线图像。该设备可以实现键合线产品的拱高、跨度等参数的测量，从而判断键合线产品的微波特性是否合格，实现流水检测，减免人工检验所花费的时间和经济成本。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

20220308

✅ 授权

发光带磁力的窗帘扣

当前第 / 件

一种有毒气体泄露应急处理的装置

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