本发明提供一种应用于扫描探针显微镜的传感器，包含：底座、位于底座上侧的绝缘承载层、位于绝缘承载层上的第一石英晶振、第二石英晶振、以及探针；第一石英晶振的第一叉脚和第一石英晶振的第二叉脚上下相对配置，第二石英晶振的第一叉脚和第二石英晶振的第二叉脚左右相对配置；第二石英晶振的基座部配置于第一石英晶振的第一叉脚上，探针配置于第二石英晶振的第一叉脚上；第一石英晶振和第二石英晶振两者各叉脚的延伸方向相同，且两者的谐振频率不同。本发明的传感器具有结构简单的优点，且本发明的传感器具有两个维度原位激发/检测功能。
📄 2018102938274
📂 G01Q60_00
👤 三明学院
📅 2018-03-30
本发明公开了一种嵌套式扫描探针显微镜，包括壳体，还包括沿一轴向依次同轴套设的步进马达、绝缘管、绝缘配重框以及扫描头；步进马达安装于壳体内壁，绝缘管周向设置于步进马达内壁上；绝缘配重框的外壁与绝缘管之间设有弹性件，绝缘配重框通过弹性件受力与绝缘管内壁滑动配合；扫描头安装于绝缘配重框上且具有一测试端，测试端包括用于扫描样品的探针；步进马达用以驱动绝缘配重框及扫描头沿轴向步进。该嵌套式扫描探针显微镜能够实现结构紧凑、体积小、空间利用率高的效果，且具有抗干扰、高度对称性特点，能够减少温度变化引起的热漂移，提高扫描成像的质量。
📄 2021107374373
📂 G01Q60_00
👤 南京信息工程大学
📅 2021-06-30
本发明公开了一种多样品快速更换型扫描探针显微镜，包括样品台、探针，XY限位装置、质量块、扫描管、压电管，所述样品台与探针两者之一安装于质量块，另一者安装于扫描管自由端，初始状态时探针正对着样品台中间位置；所述质量块设于XY限位装置内，质量块安装在压电管顶端，对压电管施加尖峰信号，通过控制压电管甩动来带动质量块在XY限位装置内XY方向上的移动；扫描管与压电管两者之一连接驱动机构，另一者连接基座。本发明通过二维方向移动质量块，使得样品台四个角和中心的样品都能精确处于扫描管正下方，能够实现多种样品的依次扫描与快速切换。
📄 2020103418202
📂 G01Q60_00
👤 南京信息工程大学
📅 2020-04-27
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