发明专利已授权

一种HoSrMnZn共掺铁酸铋/Mn掺铁酸锌复合薄膜及其制备方法

📄 申请号：CN201710253962.1 📄 发布日：2025/11/05

著录项目信息

申请日

2017-04-18

公开号

CN107082577B

公开日

2019-10-11

申请人

深圳立专信息科技有限公司

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

C03C17_34

IPC 分类号

C03C17_34 , C04B35_40 , C04B35_622 ,

技术画像

所属领域

铁电材料铁电材料复合薄膜掺杂改性

应用场景

信息存储, 传感器, 光电器件, 集成电路, 多功能器件

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摘要

本发明提供了一种HoSrMnZn共掺铁酸铋/Mn掺铁酸锌复合薄膜及其制备方法，该复合膜包括复合在一起的Bi0.89Ho0.08Sr0.03Fe0.95Mn0.03Zn0.02O3铁电膜和Zn1‑xMnxFe2O4磁性膜；先在基片上旋涂制备多层Zn1‑xMnxFe2O4磁性薄膜，然后在磁性薄膜上旋涂制备多层Bi0.89Ho0.08Sr0.03Fe0.95Mn0.03Zn0.02O3膜，得到该复合薄膜。本发明采用溶胶凝胶工艺，用多种元素掺杂对铁电膜晶体结构进行调控改善薄膜的铁电性能，提高铁电测试和漏电流测试的抗击穿性能，同时用强磁性尖晶石结构的Zn1‑xMnxFe2O4作为磁性层，获得优异磁电耦合性能的复合薄膜。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

20231201

?? 专利权的转移：

20191011

✅ 授权

20170915

?? 实质审查的生效：

20170822

📄 公开

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