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摘 要:本发明公开了一种双通道变掺杂LDMOS器件及其制造方法,该器件包括P型衬底,P型衬底中形成有相邻的深N阱和P阱,深N阱的顶部形成多段深度相同且相互间隔的P型帽层,在多段P型帽层下方的深N阱中形成有至少一层注入埋层,深N阱远离P阱的一侧形成有N+漏极,P阱上形成有N+源极和P+源极,在深N阱与P阱交界区域上方的P型衬底上形成有多晶硅栅,多晶硅栅与深N阱和P阱绝缘隔离,其中,注入埋层包括由上至下的N型埋层和P型埋层,多段P型帽层的掺杂浓度互不相同。本发明能够在同样击穿电压前提下,获得更低的比导通电阻。
著 录 项:
专利/申请号: | CN201810174388.5 | 专利名称: | 一种双通道变掺杂LDMOS器件及其制造方法 |
申请日: | 2018-03-02 | 申请/专利权人 | |
专利类型: | 发明 | 地址: | |
专利状态: | 已下证 查询审查信息 | 分类号: | H01L29/06搜分类 L 器件搜索 |
公开/公告日: | 转让价格: | 面议 | |
公开/公告号: | 交易状态: | 等待洽谈 搜索相似专利 |
交易方 | 企业 | 个人 |
买家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(签字) |
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日期 | 法律信息 | 备注 |