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摘 要:本发明公开了一种制备氮化铝晶体的坩埚设备及方法,坩埚设备包括坩埚体、衬底及衬底温场调整组件;其中,坩埚体的内部自下而上分为相互连通的第一腔室、第二腔室及第三腔室,且第二腔室的直径小于第一腔室与第三腔室的直径;衬底温场调整组件为中空圆柱体,衬底覆盖于坩埚体的开口,衬底温场调整组件的底面与衬底远离上述开口的表面相贴合。相较于现有技术而言,上述坩埚设备能够有效的降低氮化铝晶体的成核数,并且能够得到尺寸较大的氮化铝晶体。
著 录 项:
专利/申请号: | CN201810949420.2 | 专利名称: | 制备氮化铝晶体的坩埚设备及方法 |
申请日: | 2018-08-20 | 申请/专利权人 | |
专利类型: | 发明 | 地址: | |
专利状态: | 已下证 查询审查信息 | 分类号: | C30B23/00搜分类 其他搜索 |
公开/公告日: | 转让价格: | 面议 | |
公开/公告号: | 交易状态: | 等待洽谈 搜索相似专利 |
交易方 | 企业 | 个人 |
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日期 | 法律信息 | 备注 |