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摘 要:本实用新型提供一种PVT法生产碳化硅单晶设备,包括用于生产碳化硅单晶的碳化硅PVT炉主体、排气阀门以及出气管,碳化硅PVT炉主体左侧面上方安装有排气阀门,排气阀门左侧连接有出气管,出气管左侧设置气滤组件,气滤组件包括抽气滤筒、前滤板以及后滤圈,抽气滤筒内部右侧安装有前滤板,前滤板右表面贯通开设有多个滤气孔,与现有技术相比,本实用新型具有如下的有益效果:通过设置出气管、传输管、气体传输泵以及输出管,能够便于抽取碳化硅PVT炉主体使用产生的热气,并将其传输至其他设备处以便于热气回收再利用,通过设置气滤组件,能够便于过滤抽气过程中热气中混合的杂质,防止杂质混合热气进入设备内影响设备的使用。
著 录 项:
专利/申请号: | CN202323265791.4 | 专利名称: | 一种PVT法生产碳化硅单晶设备 |
申请日: | 2023-11-30 | 申请/专利权人 | |
专利类型: | 实用新型 | 地址: | |
专利状态: | 已下证 查询审查信息 | 分类号: | C30B23/00搜分类 其他搜索 |
公开/公告日: | 转让价格: | 1800.0元 | |
公开/公告号: | 交易状态: | 等待洽谈 搜索相似专利 |
交易方 | 企业 | 个人 |
买家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(签字) |
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专利转让协议(需盖公章)一式两份 | 专利转让协议(需签字)一式两份 | |
卖家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(需申请人签字) |
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专利证原件(若授权下证) | 专利证原件(若授权下证) |
日期 | 法律信息 | 备注 |