实用新型已授权

一种N型碳化硅单晶生长用坩埚

📄 申请号：CN202323223620.5 📄 发布日：2025/11/10

著录项目信息

申请日

2023-11-24

公开号

CN221645121U

公开日

2024-09-03

申请人

合肥世纪金芯半导体有限公司

法律状态

已下证

专利类型

实用新型

主分类号

C30B23_00

IPC 分类号

C30B23_00 , C30B29_36 ,

技术画像

所属领域

晶体生长设备晶体生长设备碳化硅单晶生长半导体材料

应用场景

碳化硅单晶生长, 半导体材料制备, 电力电子器件, 新能源汽车, 5G通信

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摘要

本实用新型提供一种N型碳化硅单晶生长用坩埚，包括：导电头、盖体以及下螺纹槽，所述导电头下端设有感应加热座，所述感应加热座内侧设有保温内层，所述保温内层内侧设有石墨体，所述石墨体内侧下端设有下螺纹槽，所述石墨体内侧上端设有上螺纹槽，所述下螺纹槽内侧设有下螺纹座，所述下螺纹座内侧设有放置腔，与现有技术相比，本实用新型具有如下的有益效果：通过使用感应加热座，能够对石墨体进行感应加热，通过使用限位挡座与底座，能够对感应加热座保持夹持，从而使石墨体能够完全均匀受热，通过使用上螺纹座以及下螺纹座，能够与石墨体进行快速连接或分离。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

20240903

✅ 授权

一种转子涂油装置

当前第 / 件

一种用于消除碳化硅晶体边缘环形形貌的保温装置

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📋 交易方式： 委托待转让 📌 交易状态：在售 👁️ 浏览次数：110 ❤️ 收藏人数：93 📋 项目申报： 未申报

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