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摘 要:本发明公开了一种制备氮化铝单晶的装置和氮化铝单晶的制备方法。所述制备氮化铝单晶的装置包括坩埚本体、盖设于所述坩埚本体顶部的衬底,所述坩埚本体具有用于盛装氮化铝物料的腔体,在所述腔体的侧壁上还设有用于搁置块状的所述氮化铝物料的凸起,所述凸起设置在所述腔体侧壁的中部,且向所述腔体中隆起,并将所述腔体分隔成上腔体和下腔体,所述上腔体与下腔体彼此相通。所述制备氮化铝单晶的装置能够有效保证氮化铝单晶制备的前期低过饱和压,后期物料供应充足以及所述衬底上生长的氮化铝单晶不与是坩埚本体中心区域氮化铝物料粘接;而且保证氮化铝单晶的制备方法可控性强,保证生长氮化铝单晶性能稳定,效率高,重复性好。
著 录 项:
专利/申请号: | CN201811524033.0 | 专利名称: | 氮化铝单晶的制备方法和制备氮化铝单晶的装置 |
申请日: | 2018-12-13 | 申请/专利权人 | |
专利类型: | 发明 | 地址: | |
专利状态: | 已下证 查询审查信息 | 分类号: | C30B29/38搜分类 单晶搜索 |
公开/公告日: | 转让价格: | 面议 | |
公开/公告号: | 交易状态: | 等待洽谈 搜索相似专利 |
交易方 | 企业 | 个人 |
买家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(签字) |
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日期 | 法律信息 | 备注 |