径向支撑体声波硅微陀螺仪

摘     要：本发明公开了一种微机电技术领域的径向支撑体声波硅微陀螺仪，包括圆盘形谐振子，侧向支撑臂，圆弧形驱动电极，具有位移放大机构的电容检测电极，检测电极固定凸台和基板。陀螺采用圆盘状谐振子的2个面内四波幅波节频率匹配模态作为驱动模态和检测模态，陀螺的所有结构全部在(111)硅片上通过微机械电子加工工艺实现。陀螺利用在侧向支撑的方式支撑圆盘形谐振子，通过静电驱动和三角放大机构放大检测模态的位移输出的方法测量角速度的输入，提高了陀螺的灵敏度，大大简化了体声波硅微陀螺的制作工艺，降低了生产成本，提高了陀螺的抗冲击能力，减小了陀螺的零偏，提高了陀螺的精度。

著 录 项： 

• 1． 买家选定所需专利，确认国家手续办理方，下单，确认交易合同；
  2． 卖家确认专利可交易；
  3． 买家支付交易款项到平台；
  4． 买卖双方签订《专利转让委托书》、《转让协议》、《解除代理委托书》各一式两份并提交给办理国家手续方；
  5． 办理国家手续方提交办理官方手续，国家知识产权局1个月左右下发《著录项目变更手续合格通知书》；
  6． 买家确认收到《专利证书》、《著录项目变更手续合格通知书》；
  7． 平台把交易款项支付给卖家，至此专利转让合同完成。
  

• 交易方	企业	个人
  买家	营业执照副本复印件（需盖公章）	身份证复印件（签字）
  	专利转让委托书（需盖公章）一式两份	专利转让委托书（需签字）一式两份
  	专利转让协议（需盖公章）一式两份	专利转让协议（需签字）一式两份
  卖家	营业执照副本复印件（需盖公章）	身份证复印件（需申请人签字）
  	解除代理委托书（需盖公章）一式两份（如专利通过代理机构申请）	解除代理委托书（需签字）一式两份（如专利通过代理机构申请）
  	专利转让协议（需盖公章）一式两份	专利转让协议（需签字）一式两份
  	专利请求书或手续合格通知书、授权通知书复印件	专利请求书或手续合格通知书、专利授权通知书复印件
  	专利证原件（若授权下证）	专利证原件（若授权下证）

• 日期	法律信息	备注
  2019/01/04	授权
  2018/12/28	专利申请权的转移	登记生效日: 2018.12.11 申请人由司红康变更为安徽康力节能电器科技有限公司 地址由237000 安徽省六安市安徽六安市科技创业中心001室（经三路与皋城东路交叉口）变更为237000 安徽省六安经济技术开发区科技创业服务中心B楼509室
  2016/07/20	实质审查的生效	IPC(主分类): G01C 19/5719 专利申请号: 201410686517.0 申请日: 2014.11.26
  2016/06/22	公开