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专利名称：径向支撑体声波硅微陀螺仪申请号：2014106865170 转让价格：面议收藏
法律状态：已下证类型：发明关键词：陀螺仪相似专利发布日：2024/12/12
摘要：本发明公开了一种微机电技术领域的径向支撑体声波硅微陀螺仪，包括圆盘形谐振子，侧向支撑臂，圆弧形驱动电极，具有位移放大机构的电容检测电极，检测电极固定凸台和基板。陀螺采用圆盘状谐振子的2个面内四波幅波节频率匹配模态作为驱动模态和检测模态，陀螺的所有结构全部在(111)硅片上通过微机械电子加工工艺实现。陀螺利用在侧向支撑的方式支撑圆盘形谐振子，通过静电驱动和三角放大机构放大检测模态的位移输出的方法测量角速度的输入，提高了陀螺的灵敏度，大大简化了体声波硅微陀螺的制作工艺，降低了生产成本，提高了陀螺的抗冲击能力，减小了陀螺的零偏，提高了陀螺的精度。

专利名称：高灵敏度盘状体声波硅微陀螺仪申请号：2014107483953 转让价格：面议收藏
法律状态：已下证类型：发明关键词：陀螺仪相似专利发布日：2024/12/12
摘要：本发明公开了一种高灵敏度盘状体声波硅微陀螺仪，包括圆盘形状谐振子，侧向支撑臂，圆弧形驱动电极，具有位移放大机构的电容检测电极，检测电极固定凸台和基板。采用圆盘形状谐振子的2个面内四波幅波节频率匹配模态作为驱动模态和检测模态，陀螺的所有结构全部在<111>晶向的硅片上通过微机械电子加工工艺实现。陀螺利用在侧向支撑的方式支撑圆盘形状谐振子，通过静电驱动和基于杠杆的位移放大机构放大检测模态的位移输出的方法测量角速度的输入，提高了陀螺的灵敏度，简化了体声波硅微陀螺的制作工艺，降低了生产成本，提高了陀螺的抗冲击能力，减小了陀螺的零偏，提高了陀螺的精度。

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