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摘 要:本发明涉及一种用于制备新材料的化学气相沉积装置,包括底座、导气机构、沉积管、夹持机构、种棒、旋转机构和两个加热机构,导气机构包括进气管、导气室和导气管,导气室内设有转轴、转盘、第一电机、驱动块、调节组件和两个扇叶,加热机构包括滑板、移动组件、氢氧焰喷灯、竖板、顶板、X射线发射器和X射线接收器,该用于制备新材料的化学气相沉积装置通过导气机构调节通入反应气体的用量,使装置随着运行时间的增加减小通入气体量,保证沉积反应的同时降低了设备生产成本,不仅如此,通过加热机构在沉积管的下方移动并进行沉积状况的检测,根据薄膜的附着状况控制滑板的移动,使得薄膜均匀沉积在种棒表面,提高了新材料的生产质量。
著 录 项:
专利/申请号: | CN201810678354.X | 专利名称: | 一种用于制备新材料的化学气相沉积装置 |
申请日: | 2018-06-27 | 申请/专利权人 | |
专利类型: | 发明 | 地址: | |
专利状态: | 已下证 查询审查信息 | 分类号: | C23C16/455搜分类 化学化工搜索 |
公开/公告日: | 转让价格: | 面议 | |
公开/公告号: | 交易状态: | 等待洽谈 搜索相似专利 |
交易方 | 企业 | 个人 |
买家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(签字) |
专利转让委托书(需盖公章)一式两份 | 专利转让委托书(需签字)一式两份 | |
专利转让协议(需盖公章)一式两份 | 专利转让协议(需签字)一式两份 | |
卖家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(需申请人签字) |
解除代理委托书(需盖公章)一式两份(如专利通过代理机构申请) | 解除代理委托书(需签字)一式两份(如专利通过代理机构申请) | |
专利转让协议(需盖公章)一式两份 | 专利转让协议(需签字)一式两份 | |
专利请求书或手续合格通知书、授权通知书复印件 | 专利请求书或手续合格通知书、专利授权通知书复印件 | |
专利证原件(若授权下证) | 专利证原件(若授权下证) |
日期 | 法律信息 | 备注 |
2020/04/21 | 授权 | |
2020/04/14 | 专利申请权的转移 | 登记生效日: 2020.03.26 申请人由深圳市玖品空气净化科技有限公司变更为吕庆霖 地址由518000 广东省深圳市南山区南头街道南山软件园东塔1702室变更为277500 山东省枣庄市滕州市荆河办事处四方商贸城小区8号楼2单元604室 |
2020/04/07 | 著录事项变更 | 发明人由刘殿坤 变更为吕庆霖 刘殿坤 |
2020/03/17 | 专利申请权的转移 | 登记生效日: 2020.02.27 申请人由深圳市乐业科技有限公司变更为深圳市玖品空气净化科技有限公司 地址由518000 广东省深圳市南山区南山数字文化产业基地东塔3004变更为518000 广东省深圳市南山区南头街道南山软件园东塔1702室 |
2018/11/13 | 实质审查的生效 | IPC(主分类): C23C 16/455 专利申请号: 201810678354.X 申请日: 2018.06.27 |