发明专利 已授权

N,N-二丁基聚醚胺非离子表面活性剂、其制备和基于它的四丁基氢氧化铵显影液及制备

📄 申请号:CN202211669408.9 📄 发布日:2026/11/05

著录项目信息

申请日
2022-12-24
公开号
CN115926140B
公开日
2023-07-25
申请人
江南大学
法律状态
已下证
专利类型
发明
主分类号
IPC 分类号

技术画像

应用场景

半导体光刻, 光刻胶显影, 集成电路制造, 电子化学品, 平板显示

摘要

N,N‑二丁基聚醚胺非离子表面活性剂、其制备和基于它的四丁基氢氧化铵显影液及制备。本发明属于表面活性剂领域和芯片集成电路显影工艺领域。本发明的目的是为了提供一种具有潜在商业价值的四丁基氢氧化铵显影液并解决四丁基氢氧化铵表面张力大的技术问题。本发明制备N,N‑二丁基聚醚胺非离子表面活性剂的过程中不涉及金属催化剂同时反应产率较高。将其与四丁基氢氧化铵水溶液复配得到显影液,所述显影液具有表面张力低,储存性能稳定,有效地减少了图像坍塌的问题,显影效果优异的特点,未来商业前景巨大。

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是的,该专利已下证,法律状态为“已下证”,公开号: CN115926140B

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权利要求书 (12项) 说明书 附图

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图1
图2
图3

法律状态时间线

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📋 交易方式: 委托待转让 📌 交易状态: 在售 👁️ 浏览次数:5 ❤️ 收藏人数:93 📋 项目申报: 未申报

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