实用新型已授权

一种晶圆环物料输送装置

Name: 一种晶圆环物料输送装置
Brand: 苏州恩斯贝格精密机械有限公司
SKU: 2024220883675
Availability: InStock

📄 申请号：CN202422088367.5 📄 发布日：2026/10/19

著录项目信息

申请日

2024-08-27

公开号

CN222934721U

公开日

2025-06-03

申请人

苏州恩斯贝格精密机械有限公司

法律状态

已下证

专利类型

实用新型

主分类号

B65G47_90

IPC 分类号

B65G47_90 , B65G61_00 , B65G43_08 ,

技术画像

所属领域

晶圆传输晶圆传输半导体制造设备自动化输送

应用场景

半导体制造, 晶圆切割, 晶圆封装, 洁净室物料搬运, 自动化生产线

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摘要

本实用新型涉及一种晶圆环物料输送装置，包括物料存储区、抓取装置和输送组件，至少两组第一检测组件横向间隔设置在传输机构上，第一检测组件位于同一直线上，第二检测组件设置在传输机构上且位于第一检测组件下游，所述第一检测组件和第二检测组件位于放置区域，传输机构包括上驱动机构、下驱动机构以及设置在上、下驱动机构之间的支撑座，上驱动机构和下驱动机构均包括导轨和移动部，两组移动部间隔设置在两条导轨上，移动部与导轨之间设有导向组件，移动部之间设有支撑板，相邻支撑板之间具有间隙，第一检测组件和第二检测组件与间隙对应设置。本实用新型能够使物料放置避免偏斜，在输送时保持方向一致，运输稳定性较好，方便后道工序加工。

常见问题

这项专利是否已经下证？

是的，该专利已下证，法律状态为“已下证”，公开号： CN222934721U

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权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

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当前第 / 件

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