实用新型已授权

三轴机械手及硅片转运装置

Name: 三轴机械手及硅片转运装置
Brand: 苏州富泽环境技术有限公司
SKU: 202522165696X
Availability: InStock

📄 申请号：CN202522165696.X 📄 发布日：2026/09/21

著录项目信息

申请日

2025-10-13

公开号

CN224775367U

公开日

2026-09-18

申请人

苏州富泽环境技术有限公司

法律状态

已下证

专利类型

实用新型

主分类号

H10P72_30

IPC 分类号

H10P72_30 , H10P72_76 , H10P72_00 ,

技术画像

所属领域

其他分类其他

应用场景

AI 智能推荐 · 同申请人专利 · 搜索相似专利

摘要

本实用新型公开了一种一种三轴机械手，所述三轴机械手用于硅片脱胶工装的转运，包括：X轴机构；Y轴机构，所述Y轴机构与所述X轴机构滑动连接；Z轴机构，所述Z轴机构与所述Y轴机构滑动连接；取放机构，所述取放机构包括与所述Z轴机构滑动连接的安装座，设置于所述安装座上的至少两个第一夹爪，位于所述安装座与硅片相对一侧的顶板，设置于所述安装座上用于驱动所述顶板朝向或背离硅片运动的第一驱动机构；还公开了具有上述三轴机械手的硅片转运装置，该装置能够实现脱胶插片清洗一体机之间脱胶工装全自动搬运及全自动卸料，实现脱胶段与插片段无需人工干预，在脱胶与插片之间的快速切换，提高生产效率，降低人工成本。

常见问题

这项专利是否已经下证？

是的，该专利已下证，法律状态为“已下证”，公开号： CN224775367U

购买这项专利需要经过哪些流程？

平台提供担保交易、全程代办转让手续。买家可委托平台代购，平台协助完成权属尽调、合同签署、国家知识产权局著录项目变更等流程。

该专利的转让价格是多少？

当前标价为议价，可委托平台代购或预约谈判。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

硅片加工装置

当前第 / 件

一种便于散热的继电器

同领域国内专利 · IPC: (H10P72_30)

H10P72_00 H10P72_10 H10P72_30 H10P72_50 H10P72_76 H10P72_78 覆盖6个领域

相似专利推荐 AI 驱动 · 同领域

暂无同领域相似专利推荐

议价

不含过户费

📋 交易方式： 委托待转让 📌 交易状态：在售 👁️ 浏览次数：2 ❤️ 收藏人数：93 📋 项目申报： 未申报

资金托管权属尽调包过户

🏢 淄博智来知识产权服务有限公司

✓ 企业认证✓ 手机绑定历史成交 2657件好评率 98.5%

📊 出价记录 (3条)

王**¥-10万

李** 企业¥-8万

陈**¥-3万

查看全部出价

我要出价 (议价)