发明专利已授权

旋转超声加工结合磁力研磨加工微半球凹模阵列的方法

📄 申请号：CN201910462798.4 📄 发布日：2026/08/04

著录项目信息

申请日

2019-05-30

公开号

CN110370099A

公开日

2019-10-25

申请人

浙江工业大学

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

B24B1_04

IPC 分类号

B24B1_04 , B24B1_00 , B24B49_12 , B24B47_22 , B24B47_20 ,

技术画像

所属领域

研磨加工超声加工磁力研磨微细加工研磨加工

应用场景

精密模具制造, 微机电系统, 光学器件加工, 微流控芯片, 硬脆材料加工

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摘要

本发明公开了旋转超声加工结合磁力研磨加工微半球凹模阵列的方法。通过导电线圈绕组在工具头前端产生强旋转磁场，旋转装置带动超声工具头高速水平旋转。通过高导磁材料铁镍合金球体将磁场约束在工具头前端，磁性磨粒被强磁吸附在铁镍合金球体表面，工具头接收给定的频率和振幅带动被约束在前端的铁镍合金球体高速高频振动，激发磁性磨粒将其发射出去冲击衬底材料，其间通过磁性磨粒对衬底材料的机械冲击、剪切、抛磨、加工液的空化现象和高速旋转的铁镍合金球体带动磁性磨粒对衬底材料的多级研抛作用去除材料，获得理想几何性质的微半球凹模阵列。本发明能够快速批量制备高形状精度、高表面质量的半球体凹模。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

一种L-天冬氨酸-α-脱羧酶突变体及其应用

当前第 / 件

一种双机械臂配合工作的低压空气开关自动装配系统及方法

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