发明专利已授权

基于方箱的超精密X-Y气浮平面定位平台

📄 申请号：CN201811020124.0 📄 发布日：2026/07/23

著录项目信息

申请日

2018-09-03

公开号

CN108890324B

公开日

2023-06-23

申请人

西安工业大学

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

B23Q1_62

IPC 分类号

B23Q1_62 , B23Q1_38 ,

技术画像

所属领域

定位平台超精密运动平台气浮导轨技术精密定位控制定位平台

应用场景

半导体制造, 精密加工, 精密测量, 微电子装备, 光刻机工件台

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摘要

本发明涉及基于方箱的超精密X‑Y气浮平面定位平台，在花岗石支承平台上设置有超精密花岗石基准方箱、X向运动气浮导轨部件和Y向运动气浮导轨部件，超精密花岗石基准方箱为矩形框架结构，其设置在Y向运动气浮导轨部件内可实现基准方箱的Y向运动，在基准方箱的外部套设所述X向运动气浮导轨部件，X向运动气浮导轨部件为矩形框架结构，基准方箱与X向运动气浮导轨部件之间的四个接触面均设有气浮结构薄膜，X向运动气浮导轨部件的上端面设有X向驱动直线电机组件和X向检测定光栅组件，X向运动气浮导轨部件可在基准方箱上X向气浮运动。将二维气浮运动定位平台的定位精度从微米向亚微米及甚至纳米级方向趋近。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

20230623

✅ 授权

20181221

?? 实质审查的生效：

20181127

📄 公开

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