发明专利已授权

一种周期单脉冲控制单晶炉软轴提拉系统非周期摆动方法

📄 申请号：CN202011586245.9 📄 发布日：2026/07/23

著录项目信息

申请日

2020-12-28

公开号

CN112813491B

公开日

2021-11-16

申请人

西安理工大学

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

C30B15_20

IPC 分类号

C30B15_20 , C30B29_06 ,

技术画像

所属领域

单晶炉自动控制系统晶体生长设备运动控制单晶炉

应用场景

单晶硅制备, 半导体材料生产, 光伏产业, 工业自动化, 晶体生长控制

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摘要

本发明公开了一种周期单脉冲控制单晶炉软轴提拉系统非周期摆动方法，步骤包括：步骤1、构建晶体生长软轴提拉系统的动力学模型；步骤2、构建周期单脉冲控制器；外部唯一可以操作的变量是晶转速度Ω，选择脉冲控制能够减少对平均转速的影响，也就是减小对工艺参数的影响；步骤3、确定周期单脉冲控制器的参数选择范围。本发明的方法，可以抑制软轴系统在晶体生长中出现的非周期运动，使摆动处于周期状态；无需状态反馈，控制器设置简单，控制间歇加入，对转速扰动小，控制器能效高。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

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当前第 / 件

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