发明专利已授权

一种基于绝缘基底的石墨烯制备方法

📄 申请号：CN201710283437.4 📄 发布日：2026/07/06

著录项目信息

申请日

2017-04-26

公开号

CN107032331B

公开日

2019-06-21

申请人

盐城塔斯科技有限公司

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

C01B32_188

IPC 分类号

C01B32_188

技术画像

所属领域

石墨烯材料石墨烯材料薄膜制备化学气相沉积

应用场景

电子器件, 透明导电膜, 传感器, 储能材料, 半导体材料

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摘要

本发明提供了一种基于绝缘基底的石墨烯制备方法。首先将氧化石墨烯水溶液悬涂到亲水化处理后的绝缘基底上，然后将两片石英片沿着绝缘基底边缘平行放置，中间空隙作为石墨烯生长区域，再将铜箔盖在石英片上方后一并放入到管式炉中。通入高纯氩气、氢气和甲烷，利用氧化石墨烯、铜箔和甲烷分别作为石墨烯生长的种子、催化剂和碳源，在绝缘基底上以氧化石墨烯为中心直接生长出石墨烯。本发明省去化学气相沉积法中聚合物悬涂、金属催化剂刻蚀和聚合物溶解等步骤，简化工艺，减少缺陷产生。同时该方法通过压力及气体流量的调节，可以在绝缘基底上可控生长出不同尺寸和不同形貌的石墨烯，满足不同领域的需求。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

基于水合物法实现溶液再生的热源塔热泵系统

当前第 / 件

具有溶液再生功能的双机热源塔热泵系统及溶液再生方法

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