发明专利 已授权

一种六边形几何放大式磁悬浮低频隔振结构

📄 申请号:CN202210549299.0 📄 发布日:2026/06/16

著录项目信息

申请日
2022-05-20
公开号
CN114810928B
公开日
2024-12-17
申请人
浙江理工大学
法律状态
已下证
专利类型
发明
主分类号
IPC 分类号

技术画像

应用场景

精密仪器隔振, 半导体设备隔振, 光学平台隔振, 精密测量设备, 高端制造装备

摘要

本发明属于机械振动控制领域。目的是提供一种六边形几何放大式磁悬浮低频隔振结构,该结构可实现准零刚度特性,实现低频隔振。技术方案是:一种六边形几何放大式磁悬浮低频隔振结构,其特征在于:包括用于连接外部机械设备的下底板、间隔距离设置在下底板上方以承受振动的上底板、固定在下底板上的磁悬浮机构以及可活动地连接在上底板与下底板之间的六边形机构。
权利要求书 (12项) 说明书 附图

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图1
图2
图3

法律状态时间线

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