发明专利 已授权

一种半导体芯片在线测试装置

📄 申请号:CN202510761997.0 📄 发布日:2026/06/15

著录项目信息

申请日
2025-06-09
公开号
CN120703547A
公开日
2025-09-26
申请人
深圳市友恩半导体有限公司
法律状态
已下证
专利类型
发明
主分类号
IPC 分类号

技术画像

应用场景

半导体芯片制造, 晶圆测试, 芯片成品测试, 集成电路封装测试, 电子制造质量检测

摘要

本发明提供了一种半导体芯片在线测试装置,具体涉及芯片性能测试技术领域,包括测试箱,测试箱的一侧顶部安装有主控制器,所述测试箱内腔的中部固定设置有垂直隔热板,通过垂直隔热板与水平隔热板将测试空间划分为独立的低温测试区和高温测试区,水平隔热板顶面且与永磁环相对应的位置上设有环形槽,且环形槽内滑动设置有两个对称设置的永磁块,两个永磁块的位置与永磁环的位置上下对应,测试板在圆环板带动下可同时进入不同温区进行同步测试,避免了现有技术中切换环境时,暴露环境导致的温度波动问题,无需频繁调整温区温度,既保证了测试环境的稳定性,又提升半导体芯片的测试效率。
权利要求书 (12项) 说明书 附图

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图1
图2
图3

法律状态时间线

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议价
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