发明专利已授权

一种微波等离子清洗机

📄 申请号：CN202010696231.6 📄 发布日：2026/06/15

著录项目信息

申请日

2020-07-20

公开号

CN111785603B

公开日

2023-06-13

申请人

中国计量大学

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

H01J37_18

IPC 分类号

H01J37_18 , H01J37_32 , H01L21_02 , H01L21_67 , H01L21_683 ,

技术画像

所属领域

等离子体技术等离子体技术表面处理清洗设备

应用场景

半导体制造, 电子元件清洗, 精密制造, 医疗器械, 光学元件

AI 智能推荐 · 同申请人专利 · 搜索相似专利

摘要

本发明公开了一种微波等离子清洗机，包括上料装置、等离子清洗本体，所述的上料装置包括门把手，电磁门、观察窗、产品支架、载物板、真空吸盘、导轨，所述的等离子清洗本体包括外壳、微波屏蔽板、微波屏蔽罩，石英腔体、微波本体、微波腔、电源、PLC、气体流量控制器、三通配管、真空计、电风扇、微波开关、电磁门开关，控制面板，底座，石英腔体安装在微波屏蔽罩内部，微波腔固定在微波屏蔽板上，微波本体安装在微波腔上部，三通配管固定于出气法兰，与石英腔体相通，真空计固定在三通配管上部，气体流量控制器通过固定板固定在底座上。将待清洗产品放置在产品架上，送入石英腔体，对电子产品进行清洗，清洗效率高。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

一种瓶装香菇酱生产过程中香菇甩干装置

当前第 / 件

确定疏散模型中老年人水平方向疏散速度的方法

同领域国内专利 · IPC: (H01J37_18)

H01J37_02 H01J37_06 H01J37_08 H01J37_18 H01J37_20 H01J37_317 H01J37_32 覆盖7个领域

相似专利推荐 AI 驱动 · 同领域

暂无同领域相似专利推荐

议价

不含过户费

📋 交易方式： 委托待转让 📌 交易状态：在售 👁️ 浏览次数：67 ❤️ 收藏人数：93 📋 项目申报： 未申报

资金托管权属尽调包过户

🏢 淄博智来知识产权服务有限公司

✓ 企业认证✓ 手机绑定历史成交 0件好评率 98.5%

📊 出价记录 (3条)

王**¥-10万

李** 企业¥-8万

陈**¥-3万

查看全部出价

我要出价 (议价)