实用新型已授权

一种集成电路无尘车间的钢板型防震基座

📄 申请号：CN201921299420.9 📄 发布日：2026/06/12

著录项目信息

申请日

2019-08-12

公开号

CN210318299U

公开日

2020-04-14

申请人

江苏瑞鑫集成电路设备有限公司

法律状态

已下证

专利类型

实用新型

主分类号

F16F7_12

IPC 分类号

F16F7_12

技术画像

所属领域

减震支撑结构减震支撑结构洁净室基础设施半导体制造辅助设备

应用场景

集成电路制造, 无尘车间设备安装, 半导体设备防震, 精密电子制造, 芯片封装测试

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摘要

本实用新型涉及车间基座技术领域，具体为一种集成电路无尘车间的钢板型防震基座，包括支撑板，支撑板下端连接有若干均匀分布的控制装置，控制装置包括卡位柱、支撑柱、三角底座、保护壳、定位环、形变体和抗压座，卡位柱形状为圆柱且圆柱一端底面中部开设有柱状凹槽，卡位柱的凹槽中均匀环设有三个支撑柱，支撑柱下端固定连接有三角底座，本实用新型构造设计实现了震动冲击作用到支撑板上，如果震动能量超过规定数值，支撑板和控制装置之间就会发生错位移动，震动的冲击会被若干控制装置缓冲，进而将震动破坏减少到最低，同时确保若干控制装置仍然控制支撑板，确保基座的仍可以发挥作用。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

一种集成电路无尘车间机台载重基座

当前第 / 件

一种集成电路无尘车间机台脚式横梁载重基座

同领域国内专利 · IPC: (F16F7_12)

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议价

不含过户费

📋 交易方式： 委托待转让 📌 交易状态：在售 👁️ 浏览次数：52 ❤️ 收藏人数：93 📋 项目申报： 已报项目

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