实用新型已授权

一种集成电路无尘车间机台载重基座

📄 申请号：CN201921299412.4 📄 发布日：2026/06/12

著录项目信息

申请日

2019-08-12

公开号

CN210319096U

公开日

2020-04-14

申请人

江苏瑞鑫集成电路设备有限公司

法律状态

已下证

专利类型

实用新型

主分类号

F16M5_00

IPC 分类号

F16M5_00

技术画像

所属领域

半导体制造设备半导体制造设备集成电路工艺设备设备支撑结构

应用场景

集成电路无尘车间, 半导体洁净室, 晶圆制造, 设备安装承载

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摘要

本实用新型公开了一种集成电路无尘车间机台载重基座，包括横梁式支撑脚，横梁式支撑脚上设有钢构地板，钢构地板和横梁式支撑脚通过固定螺栓连接，钢构地板上设有螺纹孔，螺纹孔两排为一组，螺纹孔横向设有如干组，每组螺纹孔之间设有间距，钢构地板上设有支撑板，支撑板上设有水泥板，本实用进过多层减震结构，能够有效的减少外界对机台的影响，同时也能保证机台稳定的运行。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

一种基于电子通信使用的防潮型一体化干燥机柜

当前第 / 件

一种集成电路无尘车间的钢板型防震基座

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