实用新型已授权

晶圆清洗阀门装置

📄 申请号：CN202121765815.0 📄 发布日：2026/06/09

著录项目信息

申请日

2021-07-30

公开号

CN215568304U

公开日

2022-01-18

申请人

深圳市栗橡科技有限公司

法律状态

已下证

专利类型

实用新型

主分类号

F16K31_04

IPC 分类号

F16K31_04 , F16K5_06 , F16K5_08 ,

技术画像

所属领域

半导体制造设备半导体制造设备晶圆清洗设备流体控制阀

应用场景

集成电路制造, 晶圆清洗, 半导体工艺设备, 微电子加工

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摘要

本实用新型涉及晶圆加工技术领域，且公开了晶圆清洗阀门装置，包括阀门外壳，阀门外壳的顶部焊接有固定块，固定块的顶部焊接有支撑连板，支撑连板的顶部固定连接有机罩外壳，机罩外壳的内部固定安装有驱动电机，驱动电机的输出端固定连接有轴杆。本实用新型中，通过接通驱动电机电源，驱动电机通过轴杆带动上方的转动弧形块转动，带动连接条上的焊接凸块一起转动，焊接凸块每转一圈都可以通过U型槽带动槽轮转动四分之一圈，槽轮每转四分之一圈正好可以带动转动阀杆下转动球体内的连通孔一起转动，让清洗液管道达到了连通闭合的效果，达到了定时控制清洗阀门开闭的效果。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

晶圆清洗设备

当前第 / 件

芯片封装设备

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