实用新型已授权

晶圆清洗设备

Name: 晶圆清洗设备
Brand: 深圳市栗橡科技有限公司
SKU: 2021217477969
Availability: InStock

📄 申请号：CN202121747796.9 📄 发布日：2026/06/09

著录项目信息

申请日

2021-07-29

公开号

CN215543149U

公开日

2022-01-18

申请人

深圳市栗橡科技有限公司

法律状态

已下证

专利类型

实用新型

主分类号

B08B3_02

IPC 分类号

B08B3_02 , B08B3_08 , B08B13_00 , H01L21_67 , H01L21_683 ,

技术画像

所属领域

晶圆清洗设备半导体设备晶圆清洗清洗工艺清洗设备晶圆清洗设备

应用场景

半导体制造, 晶圆加工, 芯片制造, 集成电路生产

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摘要

本实用新型涉及晶圆清洗技术领域，且公开了晶圆清洗设备，包括支撑块，支撑块的顶部设置有清洁装置，支撑块的顶部固定连接有工作台，支撑块的顶部固定连接有环形滑板，环形滑板的内表面开设有环形滑道，且环形滑道的内表面滑动连接有环形管，环形管的外表面固定连通有短管，短管的底部固定连通有气垫。该晶圆清洗设备，通过左右移动活动杆，使得换气通道内部的气压不断变化，气垫与晶圆之间的空气通过短管进入到环形管，再通过环形管进入到软管中，再到换气通道内部，最终通过出气管排出，随着活动杆的不断移动，气垫与晶圆之间的空气不断减少，使得气垫与晶圆之间牢牢固定。

常见问题

这项专利是否已经下证？

是的，该专利已下证，法律状态为“已下证”，公开号： CN215543149U

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当前标价为议价，可委托平台代购或预约谈判。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

晶圆抛光设备

当前第 / 件

晶圆清洗阀门装置

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