发明专利已授权

基于连续送料机制的石英舟插片设备

Name: 基于连续送料机制的石英舟插片设备
Brand: 无锡鑫瑞能智能装备有限公司
SKU: 2025104878780
Availability: InStock

📄 申请号：CN202510487878.0 📄 发布日：2026/05/28

著录项目信息

申请日

2025-04-18

公开号

CN120356859B

公开日

2026-04-24

申请人

无锡鑫瑞能智能装备有限公司

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

H10P72_30

IPC 分类号

H10P72_30 , H10F71_00 ,

技术画像

所属领域

半导体制造设备半导体制造设备晶圆传送机构自动送料机构

应用场景

半导体晶圆制造, 晶圆扩散/氧化工艺, 自动化生产线

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摘要

本发明涉及石英舟插片技术领域，尤其涉及基于连续送料机制的石英舟插片设备，包括机架，机架的顶部通过支撑柱固定安装有安装板，安装板上设置有双工位上料组件与两组送料式插片组件，机架的顶部设置有固定组件；本发明中，先通过双工位上料组件对电池片进行交替上料，后通过送料式插片组件结合固定组件，实现多个电池片的连续化水平插片处理，达到高效防伤式的插片效果，同时避免石英舟本体在翻转过程中，发生电池片撞击而导致破碎受损的问题；此外，送料式插片组件还能同步对电池片进行夹持式防偏矫正，实现电池片与石英舟本体之间的精准插接。

常见问题

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权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

一种用于甘蔗抗旱胁迫处理的装置

当前第 / 件

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