发明专利已授权

应用于石英舟装载的花篮分片机

Name: 应用于石英舟装载的花篮分片机
Brand: 无锡鑫瑞能智能装备有限公司
SKU: 2024117776456
Availability: InStock

📄 申请号：CN202411777645.6 📄 发布日：2026/05/28

著录项目信息

申请日

2024-12-05

公开号

CN119650487B

公开日

2026-04-24

申请人

无锡鑫瑞能智能装备有限公司

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

H10P72_30

IPC 分类号

H10P72_30 , H10P72_76 , H10P72_78 ,

技术画像

所属领域

半导体制造设备半导体制造设备晶圆分片机构自动化上下料设备

应用场景

半导体晶圆制造, 石英舟装载, 晶圆分片, 硅片传输, 光伏电池制造

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摘要

本发明涉及硅片装载技术领域，具体是应用于石英舟装载的花篮分片机，包括机架，机架的内壁顶部对称固定安装有多组竖板一、多组竖板二和多组导向板，机架的内部设置有运料板一和运料板二，机架的顶部固定安装有电动推杆，机架的下方设置有安插组件，安插组件包括衔接杆和翻转架，机架的底部一侧固定连接有支架，翻转架的一端与支架转动连接，位于机架内部的电动推杆的输出端与衔接杆转动连接；本发明与现有技术相比较，交替式运输是通过运料板一和运料板二上下交替操作，实现硅片连续分离与传送，提升分离速度及整个生产流程效率，还能配合后续组件保证从硅片分离到石英舟装载的过程连贯性。

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权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

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当前第 / 件

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