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静电吸附装置及其制备方法

Name: 静电吸附装置及其制备方法
Brand: 吸力奇迹(北京)科技有限公司
SKU: 2018109866296
Availability: InStock

📄 申请号：CN201810986629.6 📄 发布日：2026/07/24

著录项目信息

申请日

2018-08-28

公开号

CN110861921A

公开日

2020-03-06

申请人

吸力奇迹(北京)科技有限公司

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

B65G47_92

IPC 分类号

B65G47_92

技术画像

所属领域

吸附装置静电吸盘静电吸附介电材料吸附装置

应用场景

半导体晶圆加工, 平板显示制造, 光伏电池制造, 精密工件搬运, 工业自动化

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摘要

本发明实施例提供了一种静电吸附装置及其制备方法，解决了现有静电吸附装置的电极加工精度难以控制、电极结构绝缘性差、所产生的吸附力差以及无法快速有效地释放被吸附物品的问题。该静电吸附装置包括：绝缘层；设置在所述绝缘层表面的电极结构，其中，所述电极结构包括正极区域、负极区域以及位于所述正极区域和所述负极区域之间的绝缘区域；以及多个位于所述绝缘区域且穿透所述绝缘层和所述电极结构的吹气孔。

常见问题

这项专利是否已经下证？

是的，该专利已下证，法律状态为“已下证”，公开号： CN110861921A

购买这项专利需要经过哪些流程？

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该专利的转让价格是多少？

当前标价为议价，可委托平台代购或预约谈判。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

用于电热水器的节能型防水垢装置

当前第 / 件

一种三相变压器

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议价

不含过户费

📋 交易方式： 委托待转让 📌 交易状态：在售 👁️ 浏览次数：52 ❤️ 收藏人数：93 📋 项目申报： 未申报

资金托管权属尽调包过户

🏢 淄博智来知识产权服务有限公司

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