发明专利已授权

一种芯片制造用高压蒸煮试验装置

Name: 一种芯片制造用高压蒸煮试验装置
Brand: 安徽龙芯微科技有限公司
SKU: 2022116428644
Availability: InStock

📄 申请号：CN202211642864.4 📄 发布日：2026/03/04

著录项目信息

申请日

2022-12-20

公开号

CN115792575B

公开日

2026-03-03

申请人

安徽龙芯微科技有限公司

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

G01R31_28

IPC 分类号

G01R31_28

技术画像

所属领域

试验装置半导体制造半导体可靠性测试压力蒸煮设备试验装置

应用场景

芯片制造, 半导体测试, 可靠性验证

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摘要

本发明公开了一种芯片制造用高压蒸煮试验装置，包括机箱，在机箱的内部设置一个蒸煮箱，然后在蒸煮箱的上方设置一个接料箱，在机箱内且位于接料箱的上方设置一个空压机，其中，空压机的出口端设置于机箱上，再将空压机的进口端与接料箱上的增压口连接，同时，在增压口上设置一个增压阀，空压机用来控制接料箱内的压强，另外，再在机箱内位于蒸煮箱的一侧设置储水罐，并将储水罐通过浸水管与接料箱连接，最后，在机箱内位于储水罐的上方设置一个湿度试验组件，通过湿度试验组件可以水蒸气吹向芯片，根据水蒸气对芯片表面的作用时间，可以依次对芯片的稳定性进行数据的检测，可以记录芯片在湿度较高的环境下，其自身的稳定性和工作效率。

常见问题

这项专利是否已经下证？

是的，该专利已下证，法律状态为“已下证”，公开号： CN115792575B

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该专利的转让价格是多少？

当前标价为议价，可委托平台代购或预约谈判。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

一种耐腐蚀钕铁硼永磁材料及其制备方法永磁材料磁性材料磁铁钕铁硼）

当前第 / 件

一种基于AT89C51单片机的扶梯扶手带与梯级速度偏差检测仪

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