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发明专利
已授权
一种太赫兹多通道调制器及其制备方法
📄 申请号:CN202110595595.X
📄 发布日:2026/07/20
著录项目信息
申请日
2021-05-28
公开号
CN113253489B
公开日
2024-07-23
申请人
重庆邮电大学
法律状态
已下证
专利类型
发明
主分类号
G02F1_015
IPC 分类号
G02F1_015
,
G02F1_01
,
G02F1_00
,
技术画像
所属领域
太赫兹器件
太赫兹器件
光调制器
光电子器件
应用场景
太赫兹通信, 太赫兹成像, 太赫兹传感, 6G通信, 安全检查
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摘要
本发明公开了一种太赫兹多通道调制器及其制备方法,该调制器包括衬底和外延层,所述外延层上设有调制阵列、第一肖特基电极、第二肖特基电极和欧姆电极,所述调制阵元包括结构单元,所述结构单元设有第一开口和第二开口,所述第一开口和第二开口处分别设有第一高电子迁移率晶体管和第二高电子迁移率晶体管;其中,每行第一高电子迁移率晶体管的栅极通过栅极馈线连接至第一肖特基电极,每行第二高电子迁移率晶体管的栅极通过栅极馈线连接至第二肖特基电极;每行第一高电子迁移率晶体管的源极和漏极通过源漏馈线连接至欧姆电极,每行第二高电子迁移率晶体管的源极和漏极通过源漏馈线连接至欧姆电极。通过该方案实现了对多个频点的太赫兹波进行调制。
权利要求书 (12项)
说明书
附图
……
……
图1
图2
图3
法律状态时间线
一种基于超表面结构的极化单元、极化转换器和制备方法
当前第 / 件
应用于6G系统的基于双线型超材料结构的太赫兹分波器
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