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本发明公开了一种太赫兹多通道调制器及其制备方法，该调制器包括衬底和外延层，所述外延层上设有调制阵列、第一肖特基电极、第二肖特基电极和欧姆电极，所述调制阵元包括结构单元，所述结构单元设有第一开口和第二开口，所述第一开口和第二开口处分别设有第一高电子迁移率晶体管和第二高电子迁移率晶体管；其中，每行第一高电子迁移率晶体管的栅极通过栅极馈线连接至第一肖特基电极，每行第二高电子迁移率晶体管的栅极通过栅极馈线连接至第二肖特基电极；每行第一高电子迁移率晶体管的源极和漏极通过源漏馈线连接至欧姆电极，每行第二高电子迁移率晶体管的源极和漏极通过源漏馈线连接至欧姆电极。通过该方案实现了对多个频点的太赫兹波进行调制。

本发明公开了一种基于硅基电光调制器的调制臂长度设置方法及设备。其中，所述方法包括：硅基电光调制器设置P型掺杂区的调制臂的调制臂长度和N型掺杂区的调制臂的调制臂长度不相等，进而在设置P型掺杂区的调制臂的调制臂长度和N型掺杂区的调制臂的调制臂长度不相等之后，使一载流子区中的电子载流子和另一载流子区中的空穴载流子的迁移达到匹配的效果。通过上述方式，能够实现硅基电光调制器能对调制臂的臂长进行设置来对自身的插损和带宽的影响进行优化。