实用新型已授权

一种纳米模板压印装置

📄 申请号：CN202223280876.5 📄 发布日：2026/04/09

著录项目信息

申请日

2022-12-08

公开号

CN218767797U

公开日

2023-03-28

申请人

南昌瀚宸新材料科技有限公司

法律状态

已下证

专利类型

实用新型

主分类号

G03F7_00

IPC 分类号

G03F7_00

技术画像

所属领域

纳米压印纳米压印微纳加工压印设备

应用场景

半导体制造, 微纳光学, 生物芯片, 精密制造

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摘要

本实用新型公开了一种纳米模板压印装置，包括底座，所述底座顶部的两侧均安装有支柱，所述支柱的顶部安装有顶板；所述顶板的底部安装有电动推杆，所述电动推杆的伸缩端安装有连接板，所述连接板的底部安装有固定机构，所述固定机构的内部安装有纳米模板本体；本实用新型通过设置固定机构，能够方便将纳米模板本体从框架内进行拆卸，起到便于对纳米模板本体进行更换的目的，提高了压印的灵活性，框架内能够方便更换不同样式的纳米模板本体，提高了适用性；通过移动支撑板，可以根据不同样式的纳米模板本体对支撑板的位置分别进行对应的调节，在调节之后，通过限位组件进行定位，从而提高该压印转轴的灵活性。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

一种硅片生产用打胶装置

当前第 / 件

一种用于微纳加工的匀胶机用托盘

同领域国内专利 · IPC: (G03F7_00)

G03F7_00 G03F7_004 G03F7_033 G03F7_09 G03F7_11 G03F7_16 G03F7_20 G03F7_30 G03F7_38 G03F7_40 G03F7_42 覆盖11个领域

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