实用新型已授权

一种用于微纳加工的匀胶机用托盘

📄 申请号：CN202223035130.8 📄 发布日：2026/08/07

著录项目信息

申请日

2022-11-15

公开号

CN218691192U

公开日

2023-03-24

申请人

南昌瀚宸新材料科技有限公司

法律状态

已下证

专利类型

实用新型

主分类号

B05C13_02

IPC 分类号

B05C13_02 , B05C11_08 , B05C9_14 , B05D3_04 ,

技术画像

所属领域

微纳加工微纳加工

应用场景

半导体制造, 微纳加工, 光刻工艺, 晶圆涂胶, 科研实验

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摘要

本实用新型公开了一种用于微纳加工的匀胶机用托盘，涉及匀胶机用托盘设备技术领域，包括托盘主体，所述托盘主体的内底部通过轴承转动安装有转轴，所述转轴的上端设置有真空吸块，所述真空吸块的表面上开设有吸孔，所述真空吸块的底部设置有真空仓，所述转轴的上端固定连接于真空仓的底部，所述转轴的内部开设有气道，所述气道的上端连通于真空仓。本装置通过在真空吸块上开设多组吸孔，吸孔连通于真空仓，通过多点吸附对加工部件进行固定，既保证了对加工部件的固定能力，又避免加工部件单点受力导致损坏，同时多个吸孔分摊了真空仓的吸力，能够避免单点吸力过大吸入胶水造成堵塞的问题。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

一种纳米模板压印装置

当前第 / 件

一种具有冷却功能的靶材烧结炉

同领域国内专利 · IPC: (B05C13_02)

B05C13_00 B05C13_02 覆盖2个领域

议价

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📋 交易方式： 委托待转让 📌 交易状态：在售 👁️ 浏览次数：7 ❤️ 收藏人数：93 📋 项目申报： 已报项目

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