发明专利已授权

偏振可调的极紫外光源的产生方法

📄 申请号：CN202510145329.5 📄 发布日：2025/11/16

著录项目信息

申请日

2025-02-10

公开号

CN119627605B

公开日

2025-04-22

申请人

武汉工程大学

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

H01S3_10

IPC 分类号

H01S3_10 , H01S3_11 ,

技术画像

所属领域

极紫外光源极紫外光源偏振调控激光光学

应用场景

半导体光刻, 高精度光谱, 科研实验, 材料表征, 微纳加工

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摘要

本发明公开了一种偏振可调的极紫外光源的产生方法，涉及超快激光技术领域，包括：制备三重对称性分子不同电子态;线性偏振入射激光与三重对称性分子的不同电子态进行相互作用产生高次谐波，调整线性偏振入射激光偏振方向与分子轴的夹角，直至获取不同电子态椭偏率随排列角的分布，选择产生不同椭偏率极紫外光源所需的谐波阶段，所述谐波阶段内谐波椭偏率随排列角变化而变化；将所述谐波阶段内两个谐波分量的波谱合成为阿秒脉冲，合成后得到不同椭偏率下的极紫外光源；本发明产生的极紫外光源偏振可调，脉宽短。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

基于改进Tiny-YOLOv4的交通标志检测方法

当前第 / 件

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