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本发明公开了一种基于GSA和ESA双波长泵浦掺铥激光器，由GSA泵浦源、ESA泵浦源、泵浦光合束器、输入镜、掺铥激光介质及输出镜组成。GSA为基态吸收，对应掺铥激光介质的3H6→3H4跃迁，ESA为激发态吸收，对应3F4→3H4的跃迁。通过GSA泵浦源泵浦，基于3H6→3H4跃迁导致的基态吸收，将掺铥激光介质中Tm3+离子抽运到3H4能级，实现该能级粒子数第一次布局。同时铥离子间的交叉驰豫过程会进一步实现亚稳态3F4能级的粒子数布局。通过ESA泵浦源泵浦，利用3F4→3H4跃迁导致的激发态吸收，将3F4能级上积聚的粒子数精准抽运至3H4能级，实现3H4能级粒子数的第二次布局。本发明提出的通过GSA和ESA双波长泵浦掺铥激光介质的方案可以有效提高3H4→3H5跃迁上能级粒子数布局，提高2.3‑2.5μm波段激光输出功率。

本实用新型公开了一种基于硫化磷锰可饱和吸收体的被动锁模脉冲激光器，激光器主要装置包括激光二极管、耦合透镜组、Er:KGW晶体、平凹镜、反射镜、硫化磷锰可饱和吸收体和输出镜，带尾纤输出的半导体激光器产生980nm连续光依次经过耦合透镜入射到Er:KGW晶体，经过Er:KGW晶体的1550nm激光由平凹镜反射到达反射镜，然后被反射至硫化磷锰可饱和吸收体，经过硫化磷锰可饱和吸收体后到达输出镜输出1550nm波段的锁模脉冲激光。由于可饱和吸收体硫化磷锰的可饱和吸收特性，该激光器可以获得持续稳定的脉冲激光输出，实现飞秒级的脉冲输出。

本发明属于光器件加工制造技术领域，公开了一种并行复合型光器件刻蚀系统与方法。本发明提供的并行复合型光器件刻蚀系统包括精加工子系统和粗加工子系统，能够实现粗精混合加工。精加工子系统和粗加工子系统均可得到N路的加工并行光束，能够实现并行精加工和并行粗加工，能够有效提高加工效率。通过设置光栅对阵列对精加工中的焦点处光斑的三维形貌进行调整，能够提高光器件的加工精度。

本实用新型公开了一种基于二氧化钒薄膜可饱和吸收体的调Q脉冲激光器，属于脉冲激光技术领域及非线性光学领域。激光器主要装置包括半导体激光器(LD)、耦合透镜组、Nd:YCOB晶体、平凹镜、反射镜、二氧化钒薄膜可饱和吸收体、PPLN晶体。第一平凹镜的凹面与第二平凹镜的凹面相对，反射镜的反射面朝向第二平凹镜的凹面和二氧化钒薄膜可饱和吸收体的输入端，二氧化钒薄膜可饱和吸收体的输出端朝向PPLN晶体且与PPLN晶体平行设置。本实用新型提供的基于二氧化钒薄膜可饱和吸收体的调Q脉冲激光器，利用可饱和吸收体二氧化钒薄膜的可饱和吸收特性，改变激光谐振腔的好坏，从而使该激光器可以获得持续稳定的脉冲激光输出，实现皮秒级的脉冲输出。