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本发明公开了一种基于谐振腔的微波等离子体EUV光源，包括微波及出光共形系统、微波馈入系统、工质供给系统和腔体冷却系统，其中微波及出光共形系统采用球形谐振腔作为微波能量耦合和等离子体产生的核心结构，并通过在谐振腔内表面引入微波亚波长尺寸的镂空网格共形结构，能够在不影响腔体内部微波场分布的情况下，使EUV光顺利透过腔体表面，并引导至腔外，从而解决了传统谐振腔中微波场封闭和EUV光引出之间的矛盾问题。此外本发明既能够保证腔体内微波能量的高效耦合，又能够通过合理设计网格的尺寸和形状，实现EUV光束的高效引出，同时避免了传统设计中常见的微波泄露和能量损失，从而提升了整体光源的能量转换效率。

本发明公开了一种偏振可调的极紫外光源的产生方法，涉及超快激光技术领域，包括：制备三重对称性分子不同电子态;线性偏振入射激光与三重对称性分子的不同电子态进行相互作用产生高次谐波，调整线性偏振入射激光偏振方向与分子轴的夹角，直至获取不同电子态椭偏率随排列角的分布，选择产生不同椭偏率极紫外光源所需的谐波阶段，所述谐波阶段内谐波椭偏率随排列角变化而变化；将所述谐波阶段内两个谐波分量的波谱合成为阿秒脉冲，合成后得到不同椭偏率下的极紫外光源；本发明产生的极紫外光源偏振可调，脉宽短。