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发明专利
已授权
一种用于超声扫描显微镜的样品台
📄 申请号:CN202010048578.X
📄 发布日:2025/11/16
著录项目信息
申请日
2020-01-16
公开号
CN111122711A
公开日
2020-05-08
申请人
武汉工程大学
法律状态
已下证
专利类型
发明
主分类号
G01N29_22
IPC 分类号
G01N29_22
,
G01N29_26
,
G01N29_06
,
技术画像
所属领域
显微镜
超声检测设备
精密定位平台
样品夹持装置
显微镜
应用场景
无损检测, 半导体检测, 材料分析, 电子元器件检测, 科研仪器
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摘要
本发明涉及一种用于超声扫描显微镜的样品台,包括:用于放置样品的样品架;用于驱动样品架转动的驱动装置,样品架固定于驱动装置的动力输出轴上;用于带动驱动装置上升或下降的升降组件,驱动装置设置于升降组件上;升降组件上设置有限位组件,用于对样品架的最大转动角度进行限定。基于本发明的用于超声扫描显微镜的样品台,可以根据需要对样品架进行一定角度的旋转,实现对不同角度下被测物的扫描检测。
权利要求书 (12项)
说明书
附图
……
……
图1
图2
图3
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