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发明专利
已授权
基于干涉法的液晶光学移相检测系统以及检测方法
📄 申请号:CN202011547847.3
📄 发布日:2025/10/13
著录项目信息
申请日
2020-12-24
公开号
CN112731694B
公开日
2022-05-03
申请人
浙江光珀智能科技有限公司
法律状态
已下证
专利类型
发明
主分类号
G02F1_13
IPC 分类号
G02F1_13
,
G02F1_29
,
技术画像
所属领域
光学检测
光学检测
干涉测量
液晶器件
应用场景
光学精密测量, 液晶显示检测, 光通信, 工业无损检测, 科研仪器
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摘要
本发明公开了一种基于干涉法的液晶光学移相检测系统及方法,系统结构为:激光光源发出的光经过二分之一波片后被第一偏振分光棱镜后分成两束偏振方向相互垂直的线偏振光;其中一束线偏振光照射到液晶光学相控阵样品上,再经第一反射镜反射后射入第二偏振分光棱镜;另一束线偏振光经第二反射镜反射后射入第二偏振分光棱镜;第二偏振分光棱镜对两束入射光进行合束,并将合束后的光束依次经过四分之一波片和检偏器后照射到电荷耦合元件的靶面上,电荷耦合元件与计算机控制中心相连。本发明确定了样品的绝对相位延迟量,实现了对二维液晶移相器件进行高精度、高分辨率、快速、自动的检测,提高了检测相控阵相位分布的分辨率和精度。
权利要求书 (12项)
说明书
附图
……
……
图1
图2
图3
法律状态时间线
一种扬声器中心磁路及中心华司组装生产线
当前第 / 件
一种大角度液晶光学相控阵扫描组件
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