发明专利已授权

一种防止石墨烯晶格损坏的石墨烯薄膜转移装置及方法

📄 申请号：CN202210474034.9 📄 发布日：2026/06/26

著录项目信息

申请日

2022-04-29

公开号

CN114906842B

公开日

2023-11-10

申请人

智盛信息科技(东莞)有限公司

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

C01B32_194

IPC 分类号

C01B32_194

技术画像

所属领域

石墨烯薄膜石墨烯薄膜薄膜转移技术无损转移工艺

应用场景

电子器件制造, 柔性电子, 传感器, 透明导电薄膜, 半导体器件

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摘要

本发明公开了石墨烯薄膜处理技术领域的一种防止石墨烯晶格损坏的石墨烯薄膜转移装置，包括底座，所述底座的顶部固定安装有机体。本发明通过设置气压缸、活动板、第一斜杆和运动板，当气压缸运行的时候，将会使得活动板向后发生运动，并且此时可以通过两个第一斜杆来拉动顶块和竖杆整体向下运动，并且运动板也会随之向下运动，进而可以实现石墨烯薄膜与目标基体之间的压合作用，有效的避免了石墨烯薄膜发生活动的现象，而当气压缸控制活动板向前运动时，此时由于两个柔性弹簧为压缩状态，从而会对顶块施加一个向上的弹力，进而可以实现竖杆带动运动板和圆轮上升，以便后续压合辊对石墨烯薄膜与目标基体之间的压合贴敷作用。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

20250722

?? 专利权的转移：

20231110

✅ 授权

20220927

?? 实质审查的生效：

20220816

📄 公开

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议价

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📋 交易方式： 委托待转让 📌 交易状态：在售 👁️ 浏览次数：40 ❤️ 收藏人数：93 📋 项目申报： 未申报

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