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著 录 项 目:
专利/申请号: | CN202222082394.2 | 专利名称: | 一种晶圆涂覆玻璃粉的盛料转移设备 |
申请日: | 2022-08-09 | 申请/专利权人 | 华林科纳(江苏)半导体设备有限公司 |
专利类型: | 实用新型 | 地址: | 江苏省南通市如皋市城南街道新桃路90号 |
专利状态: | 已下证 查询审查信息 | 分类号: | B05C13/02 分类检索 |
公开/公告日: | 2023-03-28 | 转让价格: | 【平台担保交易】 |
公开/公告号: | CN218742944U | 交易状态: | 等待洽谈 搜索相似专利 |
浏览量: | 5 | 所属领域: | 半导体制造设备 晶圆加工处理技术 材料转移系统专利转让搜索 |
应用场景:集成电路生产线中的晶圆表面改性工艺;显示面板制造中的玻璃基板镀膜工序;先进封装环节的介质层沉积前道处理
摘 要:本实用新型属于转移设备技术领域,尤其是一种晶圆涂覆玻璃粉的盛料转移设备,现提出如下方案,其包括底板,所述底板的顶部安装有放置板,放置板的顶部设有收纳槽,收纳槽内放置有晶圆,所述底板的顶部安装有连接板,两个连接板相互靠近的一侧均开设有固定槽,固定槽的顶部内壁和底部内壁上安装有同一个固定杆,两个固定杆上滑动安装有同一个升降板,升降板的底部安装有弹簧的一端,弹簧的另一端安装在固定槽的底部内壁上,所述升降板的底部安装有方板,方板的底部安装有连接座。通过启动抽风机,抽风机带动吸管进行抽风,从而吸管能够很好的对晶圆进行抽取,完成对晶圆进行很好的转移。
交易方 | 企业 | 个人 |
买家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(签字) |
专利转让委托书(需盖公章)一式两份 | 专利转让委托书(需签字)一式两份 | |
专利转让协议(需盖公章)一式两份 | 专利转让协议(需签字)一式两份 | |
卖家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(需申请人签字) |
解除代理委托书(需盖公章)一式两份(如专利通过代理机构申请) | 解除代理委托书(需签字)一式两份(如专利通过代理机构申请) | |
专利转让协议(需盖公章)一式两份 | 专利转让协议(需签字)一式两份 | |
专利请求书或手续合格通知书、授权通知书复印件 | 专利请求书或手续合格通知书、专利授权通知书复印件 | |
专利证原件(若授权下证) | 专利证原件(若授权下证) |
日期 | 法律信息 | 备注 |
申请号 | 专利名称 | 发布日期 |
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